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- [实用新型]一种相变阀装置-CN201520910458.0有效
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高猛;桂林
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中国科学院理化技术研究所
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2015-11-16
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2016-06-15
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F16K13/00
- 本实用新型涉及微流控技术领域,尤其涉及一种相变阀装置流道层和相变层;所述流道层上开设有微流道,所述相变层上靠近所述流道层的一侧开设有相变微腔道;所述流道层与相变层之间设有可变形的第一柔性薄膜,用于隔开所述微流道和相变微腔道;所述相变微腔道中间设有可变形的第二柔性薄膜,将所述相变微腔道分割为上腔和下腔;所述上腔填充有液态金属,同时下腔填充有相变材料;或所述上腔填充有相变材料,同时下腔填充有液态金属;所述液态金属用于加热所述相变材料实现所述相变材料膨胀或收缩本实用新型的相变阀装置制备工艺简单,成本低,灵敏度高。
- 一种相变装置
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